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Ｚ系列油擴散噴射真空泵是蒸氣流泵的一種，是獲得中真空的主要設(shè)備。工作壓力范圍為10～6.7×10-2Pa，抽氣速率450～23000L/s，廣泛應(yīng)用于冶金、化工、石油、電子等工業(yè)部門。