油擴(kuò)散噴射真空泵是油蒸氣射流噴射真空泵的一種。是以增壓泵油作為工作介質(zhì)，利用高速定向油蒸氣射流抽出氣體的真空泵，是獲得中真空的主要設(shè)備。油擴(kuò)散噴射真空泵的工作壓力范圍為10Pa～10-3Pa，在10Pa～1×10-2Pa壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；油擴(kuò)散噴射真空泵臨界前級壓力較高可達(dá)到140Pa。因此被廣泛應(yīng)用在冶金、化工、石油工業(yè)、電子等領(lǐng)域中。
