高真空氣動(dòng)擋板閥是構(gòu)成真空系統(tǒng)與真空設(shè)備的一個(gè)組成部分,它裝在被抽容器與各種高低真空泵之間,通過電磁換向閥改變氣路方向,使閥板開啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。其使用范圍為105~10-5帕,通常連接于油擴(kuò)散泵或油增壓泵上,適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體,被廣泛地應(yīng)用在電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、真空冶金工業(yè)、原子能工業(yè)、食品工業(yè)等領(lǐng)域。
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